1. Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration
پدیدآورنده : / by J. Laconte, D. Flandre and J.P. Raskin
کتابخانه: کتابخانه مرکزی، مرکز اسناد و تامین منابع علمی دانشگاه صنعتی سهند (آذربایجان شرقی)
موضوع : Gas flow,Thin film devices,Silicon-on-insulator technology,Metal oxide semiconductors Complementary
رده :
QC168
.
L33
2006